1、真空泵长期工作应注意泵油是否充足，泵内存油不得低于油标中心，油量不足将会影响工作性能，甚至损坏零件。
2、油品是否清洁，对泵的真空度有影响。一般用泵抽除干燥气体约600~1000小时应进行更换新油。
3、更换新油先开泵运转30分钟，使油变稀，旋开放油塞使泵腔内污油全部放出，再从加油孔加入一定新油，启动电机
运转数秒钟，对泵内部进行清洗，操作2~3次，达到清洁后放净污油，装上放油塞，再从加油孔注入新泵油至油窗
中心，旋上加油塞。
4、泵油采用HFV-1真空泵油，注意不得低于中心，但亦不能高出整个油窗，否则会产生喷油现象。
5、不同种类和牌号的真空泵油，不可混合使用。